電離真空計シリーズ technical data

仕様
型 名M-833HG
測定球ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範囲0.1×10-7~9.9×100Pa
圧力表示測定レンジ自動切換
セットポイント2点標準装備(オープンコレクタ)
D/A出力0~10V:仮数部出力、指数部出力
0~11V:複合出力又はLOG出力
アナログ出力APCモード設定時(0.1~2.5V)
(エレクトロメータ出力)ノーマルモード設定時(0.1~1.6V)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUTフィラメントON/OFF
デガスON/OFF
等6種類の外部制御機能
OUTPUT6種類のステータス信号出力
特殊機能APC対応:レンジホールド機能
エレクトロメータ出力機能
寸法・質量H99×W209×D330、1.9kg
所要電力100~240VAC
100VA以下、50/60Hz
エミッション電流10μA、100μA、1mA自動切換設定又は固定設定
ガス出しグリッド通電加熱方式
フィラメント切換キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護オーバーレンジ設定値又はエミッション電流±50%の変動
標準構成真空計本体(測定球及びケーブルは構成品に含まれません)
対応CEマーキング、RoHS (Category9)
型 名M-723HGM-823HGM-923HG
測定球UGD-1S B-Aゲージ球BRG-1BワイドレンジB-Aゲージ球NIG-2F/NIG-2TF
ヌードイオンゲージ球
圧力測定レンジ(Pa)5レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6
7レンジ自動切換
10-0、10-1、10-2、10-3、10-4、10-5、10-6
8レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6、10-7、10-8、10-9
測定レンジ切換自動切換え(レンジホールド可)
ガス出しグリッド通電加熱方式電子衝撃方式
フィラメント切換前面パネルと外部制御入力により切換可(M823HGを除く)
フィラメント保護圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。
アナログ出力D/A出力(仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力)
アナログ生出力(エレクトロメータ出力)
I/OリモートINPUTフィラメントON/OFF入力
デガスON/OFF入力
フィラメントインヒビット入力
レンジホールド1入力
レンジホールド2入力
フィラメント切換入力
ゲージ1/2切換入力(ゲージセレクタオプション使用時)
OUTPUTフィラメントON/OFF出力
デガスON/OFF出力
リモート/ローカル出力
セットポイント出力(2点)
ゲージ1/2セレクト出力(ゲージセレクタオプション使用時)
パワーON/OFF出力
フィラメント1/2出力
アラーム出力
セットポイント2セットポイント標準装備(オープンコレクタ)
外形寸法(mm)H99×W209×D330
所要電力AC100V±10%2A、50/60Hz(AC115/200/230Vにも対応可能)
質量5.4kg
標準構成真空計本体(測定球およびケーブルは構成品に含まれません)
外形寸法図
外形寸法