ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動によって真空排気をする真空ポンプです。
・豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
・接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
・用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
・2段排気方式は、1段排気方式より低い圧力(良い真空)。
・自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
・大気圧から作動が可能。
・シンプル構造で、メンテナンスが容易。

項目	単位	50Hz	60Hz
実行排気速度	L/min	30	36
到達圧力	Pa	6.7×103
	kPa	-94.6 (ゲージ圧表示)
モータ出力	W	200
質量	kg	11
吸・排気口	mm	O.D.φ9×I.D.φ5 (Rc 1/4)
使用雰囲気温度範囲	℃	7～40
最大寸法	mm	212(W) × 278(L) × 224.5(H)
RoHS対応		●