小型流量コントローラ MF-C Series

MEMS技術を用いた小型流量センサを採用した、コンパクトモデルのマスフローコントローラです。表示・設定機能を搭載した他、マイコン搭載により、多機能化を実現しました。


特長

  • 各種流体に対応
    適応流体は、空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパン等の各種ガスに対応。さらに、水素、ヘリウムにも対応し、多彩な用途にご利用できます。
  • 低差圧モデル標準ラインアップ
    バーナーの火力制御等の供給圧力の低い燃焼ガスの流量制御が可能になりました。
  • 高信頼の流量制御
    独自の整流機構により、流量制御性を左右する再現性の向上を図りました。
  • 0.5秒の高速制御
    シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。
  • 制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載
    ・流量値を3桁でデジタル表示
    ・エラー表示の他、出力状態 (スイッチ出力ON-OFF)を表示
    ・本体の上部スイッチにより流体設定が行えます。
  • マイコン搭載により多機能化を実現
    ●エラー表示機能
    エラー発生を表示と電気信号でお知らせします。
    ●ゼロ・スパン調整機能
    使い勝手にあわせて入力信号のゼロ・スパン調整が可能。
    ●プリセット入力機能
    任意の流量を4点設定し、外部からの2bit信号入力(PLC等からの信号)で流量制御できます。
    ●ダイレクトメモリ機能
    外部からの入力信号がなくても製品の操作キーで制御流量を自由に調整可能。
    ●スイッチ出力機能
    流量の上限下限設定によるスイッチ出力機能搭載。(過電流保護内蔵)
    ●流量積算機能
    流量の積算表示(最大6桁)および
    ●自動遮断機能
    エラー発生等の緊急時には、自動的にバルブを遮断。
  • 小型・軽量
    W70mm × H70mm × D30mmのコンパクトサイズ。
    狭いスペースや可動部に設置でき、 設備の小型化・軽量化に貢献します。
  • 専用電源不要
    電源電圧はDC24V。汎用の単電源で動作します。
  • 装置組込みにベストマッチ
    配管接続に便利な”ワンタッチ継手”や”Rc1/4″、”1/4インチ2重くい込み継手”を標準でラインアップしています。
  • RoHS指令に対応
    鉛や六価クロムなどの地球環境に悪影響を及ぼす物質を、使用材料から完全排除しました。