Leybold ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプ(TURBOVACシリーズ)
オイル交換不要の潤滑ボールベアリングが採用されたオイルフリーハイブリッドベアリングシステムによる優れた信頼性を持ち、ベアリングの寿命までメンテナンスは不要。また、異なる電子制御やハウジング形状などアクセサリーも豊富なのが特徴です。
TURBOVACシリーズ技術仕様
TURBOVAC | 90 i | 250 i | 350 i | 450 i | T 350 i | T 450 i | |
高真空接続 | 63 ISO-K 63 CF | 100 ISO-K 100 CF | 100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF | 100 ISO-K 100 CF | 160 ISO-K 160 CF |
|
排気口接続 | 16KF | 25KF | |||||
排気速度 L/s | N₂ | 90 | 225 | 290 | 430 | 290 | 430 |
Ar | 83 | 210 | 260 | 400 | 260 | 400 | |
He | 90 | 250 | 360 | 440 | 360 | 440 | |
H₂ | 78 | 210 | 350 | 420 | 320 | 400 | |
ガススループット mbar・L/s | N₂ | 10 | 6 | 4.5 | 4.5 | 11.5 | 11.5 |
Ar | 3 | 3 | 2 | 2 | 6 | 6 | |
He | 11 | 6 | 8 | 8 | 20 | 20 | |
H₂ | 11 | > 10 | 8 | 8 | 20 | 20 | |
圧縮比 | N₂ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹⁰ | 1×10¹⁰ |
Ar | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | 1×10¹¹ | |
He | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁸ | 1×10⁶ | 1×10⁶ | |
H₂ | 5×10⁷ | 2×10⁷ | 1×10⁶ | 1×10⁶ | 1×10⁴ | 1×10⁴ | |
到達圧力 ISO-K/CF (mbar) (2段式油回転ポンプ使用時) | ≤ 8 ∙ 10⁻⁸ / ≤ 5 ∙ 10⁻¹⁰ | ||||||
最高使用排気圧力 (mbar) (N₂の場合) | 14 | 10 | 0.5 | ||||
回転数 (rpm) | 72000 | 60000 | |||||
冷却標準 | 自然冷却 | ||||||
冷却オプション | 水冷または空冷 | ||||||
本体重量 ISO-K/CF (kg) | 3.1 / 4.8 | 4.0 / 6.6 | 7.5 / 11.5 | 7.7 / 12.5 | 7.0 / 11.0 | 7.2 /1 2.0 | |
入力電圧 | 24/48V DC ±10 % | ||||||
最大消費電流 | 10 A at 24 V DC | ||||||
最大消費電力 | 240 | ||||||
インターフェース | RS 485, USB, 15ピンデジタル I/O (その他はお問い合わせください) |
パッケージ製品内訳
(Turbo Power INTEGRA)
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package1.png)
電源ユニット接続
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package2.png)
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package3.png)
ラジアル空冷ファン接続
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package4.png)
スタート/ストップスイッチ接続
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package5.png)
アップグレードパッケージ
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package6.png)
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package7.png)
パッケージ製品内訳
(Turbo Control 300)
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package8.png)
![](https://www.t-assoc.co.jp/wp-content/uploads/2021/01/turbovac_package9.png)