仕様
型 名 | M-833HG | |
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測定球 | ミニチュアゲージMG-2シリーズ | |
圧力表示範囲 | 0.1×10-7~9.9×100Pa | |
圧力表示 | 測定レンジ自動切換 | |
セットポイント | 2点標準装備(オープンコレクタ) | |
D/A出力 | 0~10V:仮数部出力、指数部出力 0~11V:複合出力又はLOG出力 |
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アナログ出力 | APCモード設定時(0.1~2.5V) | |
(エレクトロメータ出力) | ノーマルモード設定時(0.1~1.6V) | |
外部制御機能 (リモート操作) | INPUT | フィラメントON/OFF デガスON/OFF 等6種類の外部制御機能 |
OUTPUT | 6種類のステータス信号出力 | |
特殊機能 | APC対応:レンジホールド機能 エレクトロメータ出力機能 |
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寸法・質量 | H99×W209×D330、1.9kg | |
所要電力 | 100~240VAC 100VA以下、50/60Hz |
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エミッション電流 | 10μA、100μA、1mA自動切換設定又は固定設定 | |
ガス出し | グリッド通電加熱方式 | |
フィラメント切換 | キー及び、リモートI/O操作 | |
フィラメント保護 | オーバーレンジ設定値又はエミッション電流±50%の変動 | |
標準構成 | 真空計本体(測定球及びケーブルは構成品に含まれません) | |
対応 | CEマーキング、RoHS (Category9) |
型 名 | M-723HG | M-823HG | M-923HG |
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測定球 | UGD-1S B-Aゲージ球 | BRG-1BワイドレンジB-Aゲージ球 | NIG-2F/NIG-2TF ヌードイオンゲージ球 |
圧力測定レンジ(Pa) | 5レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、10-5、10-6 | 7レンジ自動切換 10-0、10-1、10-2、10-3、10-4、10-5、10-6 | 8レンジ自動切換 10-2、10-3、10-4、10-5、10-6、10-7、10-8、10-9 |
測定レンジ切換 | 自動切換え(レンジホールド可) | ||
ガス出し | グリッド通電加熱方式 | 電子衝撃方式 | |
フィラメント切換 | 前面パネルと外部制御入力により切換可(M823HGを除く) | ||
フィラメント保護 | 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。 | ||
アナログ出力 | D/A出力(仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力) アナログ生出力(エレクトロメータ出力) |
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I/Oリモート | INPUT | フィラメントON/OFF入力 デガスON/OFF入力 フィラメントインヒビット入力 レンジホールド1入力 レンジホールド2入力 フィラメント切換入力 ゲージ1/2切換入力(ゲージセレクタオプション使用時) |
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OUTPUT | フィラメントON/OFF出力 デガスON/OFF出力 リモート/ローカル出力 セットポイント出力(2点) ゲージ1/2セレクト出力(ゲージセレクタオプション使用時) パワーON/OFF出力 フィラメント1/2出力 アラーム出力 |
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セットポイント | 2セットポイント標準装備(オープンコレクタ) | ||
外形寸法(mm) | H99×W209×D330 | ||
所要電力 | AC100V±10%2A、50/60Hz(AC115/200/230Vにも対応可能) | ||
質量 | 5.4kg | ||
標準構成 | 真空計本体(測定球およびケーブルは構成品に含まれません) |
外形寸法図