高感度、高安定性、残留ガス分析から各種高感度ガス分析装置としてご対応可能です。
質量数　100/200/300 amu
検出器はファラディー＆チャンネルトロンを選択可能。

アナログスキャン測定
基本的な測定機能。残留ガス成分や分析計の動作状態を確認できます。

MID(マルチイオン)測定
横軸に時間（Time)、縦軸を電流値（A)表示にした測定イオン化係数を考慮しない素のイオン電流値です。
最大128チャンネルの測定が可能です。

MCD（マルチイオン）濃度測定
横軸に時間（Time)、縦軸に濃度（％、ppm,ppb)にした測定。
既知の濃度構成ガスで校正することで、より精度の高い測定が可能。
※上段がMIDグラフ　下段がMCDグラフ

分圧測定
分圧測定では測定対象ガスの適切なイオン化係数を入力して校正する必要があります。
校正後にMID測定画面で分圧表示が可能となります。

大気圧ガス測定用質量分析計
大気圧のガスを直接分析が可能
1～300amuまでの質量数を分析可能
二段減圧方式による高速レスポンスとマスディスクリミネーションの抑制
く100ppb以下の検出限界を実現　※ガス種に依存
ガス導入機構と独自のイオンソースをコンパクトに組み込み、ガス導入部のキャピラリーは最大350℃の加熱制御可能なヒーターを標準装備
幅広いアプリケーションで効果的なガス分析を可能にします。
定量分析支援ソフトウエアー
真空計MPT200を搭載、全圧真空度表示が可能。
7インチのカラータッチディスプレイ採用
ドライ型真空排気システム内蔵、ディスプレイパネルで簡易測定、モニターが可能
重量23Kgで軽量コンパクトサイズ