Leybold ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプ(TURBOVACシリーズ)
オイル交換不要の潤滑ボールベアリングが採用されたオイルフリーハイブリッドベアリングシステムによる優れた信頼性を持ち、ベアリングの寿命までメンテナンスは不要。また、異なる電子制御やハウジング形状などアクセサリーも豊富なのが特徴です。

TURBOVACシリーズ技術仕様

TURBOVAC		90 i	250 i	350 i	450 i	T 350 i	T 450 i
高真空接続		63 ISO-K 63 CF	100 ISO-K 100 CF	100 ISO-K 100 CF	160 ISO-K 160 CF	100 ISO-K 100 CF	160 ISO-K 160 CF
排気口接続		16KF		25KF
排気速度 L/s	N₂	90	225	290	430	290	430
	Ar	83	210	260	400	260	400
	He	90	250	360	440	360	440
	H₂	78	210	350	420	320	400
ガススループット mbar・L/s	N₂	10	6	4.5	4.5	11.5	11.5
	Ar	3	3	2	2	6	6
	He	11	6	8	8	20	20
	H₂	11	> 10	8	8	20	20
圧縮比	N₂	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹⁰	1×10¹⁰
	Ar	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹	1×10¹¹
	He	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁶	1×10⁶
	H₂	5×10⁷	2×10⁷	1×10⁶	1×10⁶	1×10⁴	1×10⁴
到達圧力 ISO-K/CF (mbar) (2段式油回転ポンプ使用時)		≤ 8 ∙ 10⁻⁸ / ≤ 5 ∙ 10⁻¹⁰
最高使用排気圧力 (mbar) (N₂の場合)		14		10		0.5
回転数 (rpm)		72000		60000
冷却標準		自然冷却
冷却オプション		水冷または空冷
本体重量 ISO-K/CF (kg)		3.1 / 4.8	4.0 / 6.6	7.5 / 11.5	7.7 / 12.5	7.0 / 11.0	7.2 /1 2.0
入力電圧		24/48V DC ±10 %
最大消費電流		10 A at 24 V DC
最大消費電力		240
インターフェース		RS 485, USB, 15ピンデジタル I/O (その他はお問い合わせください)