Megatorr(メガトール) 圧力制御機器
MRシリーズ スロットルバルブ圧力コントローラ

弁体部が0～90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブです。
APシリーズコントローラ/キャパシタンスマノメータと併用する事により半導体等のプロセスにおいて、高速応答、高再現性の真空圧力制御が得られます。
• 対応フランジ ： JIS / ISO / KF(NW) / CF
• 日本国内で開発製造 → お客様の装置設計に合うようカスタマイズも可能
• コントローラAP420（APシリーズ）はCE マーキング取得、RoHS指令対応

自己加熱型スロットルバルブ

フランジにサンドイッチ状にヒータを挟み込み、
また弁体にもヒータを埋め込む独自の設計の自己加熱
型もオプションで有り。
200℃まで対応また温度均一性に優れ、デポを抑止
し大幅にメンテナンス性と生産性を向上いたします。

NW/KFフランジ (クイックカップリング) バタフライバルブ

ISO規格の配管に取り付ければすぐに圧力制御ができます。
またクイックカップリングを使用できますので、容易に設置することができます。

圧力コントローラ：
AP-420
CEマーキング、RoHS対応
モデル名呼び径コンダクタンス(L/s)寸法(mm)
閉開ABCDE
MR15KFVSP572NW401.265226188755558
MR18KFVSF605NW501.51802561991007561
MR30ITV000SNNW80348029321815111469

他サイズも扱っておりますのでご相談ください。