MKS Baratron600 series
バラトロン600シリーズは独立型のトランスデューサで±15VDCの電源供給のみで、0～10VDCの高レベル出力を提供します。この信号は、直接プロセスコントローラ、或いはMKSのPDR2000A/PR4000B/660Bシリーズ・パワーサプライ/リードアウト・ユニットとインターフェースすることができます。圧力測定は、ダイアフラムと隣接するデュアル電極の間の静電容量変化を測定することによって行います。溶接の際、ダイアフラムを放射状に張ることによって非常に低いヒステリシスと広い有効測定レンジ(1×10⁻⁴F.S. ※2.66及び6.65F.S.モデルは2×10⁻⁴F.S.)、優れた再現性を実現し、極低圧域の測定ができます。
フルスケールは最小で2.66Pa のものからラインナップしており、5.32×10⁻⁴Paまで精度0.25%での測定が可能です。
静電容量の圧力信号は、環境性能を向上させるために表面取付型の最新エレクトロニクスやASICを採用した新しいシグナルコンディショニング回路によって使用可能な出力に変換されます。
また、600シリーズキャパシタンスマノメータは、加圧限界310KPaを実現する当社の最新センサを内蔵し優れた長期安定性を発揮します。様々な環境に対応できるようセンサの材質はインコネルとし、全溶接構造を採用しています。
絶対圧型圧力トランスデューサ仕様
| 温度補正型 | 温度制御型 | 温度制御型 外部ゼロ機能オプション |
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| 型式 |  |  |  |  |
| 622B/626B | 627D(45℃で加熱) | 628D(100℃で加熱) | 629D(45℃/100℃で加熱) | |
| F.S.レンジ レンジコード(Pa) | 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | U2T(2.66) U5T(6.65) .1T(13.3) RET(33.3) 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | U5T(6.65) .1T(13.3) RET(33.3) 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | U2T(2.66) U5T(6.65) .1T(13.3) 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) |
| 有効測定レンジ | 1×10⁻⁴ F.S. | |||
| 精度 | 0.25% of R オプション：0.15% | 0.12% of R(標準) | 0.25% of R(標準) 0.5% of R(RET, .1T, U5T) | 0.12% of R(45℃型標準) 0.25% of R(100℃型標準) |
| 温度係数(ゼロ) | 0.005% F.S./℃ | 0.002% F.S./℃ | 0.002% F.S./℃ | 0.002% F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | 0.04% R/℃ | 0.02% R/℃ | 0.02% R/℃ | 0.02% R/℃ |
| 運転温度レンジ | 0～50℃ | 15～40℃ | 15～50℃ | 15～40℃(45℃型) 15～50℃(100℃型) |
| 接ガス部の材質 | Inconel(継手使用時はその材質も含む) | |||
| 容量(Px側) | 6.3cc | |||
| 加圧限界 | 310KPa | |||
| 入力電源 | ±15VDC±5％＠35mA | ±15VDC±5％＠250mA(最大) | ±15VDC±5％＠500mA(最大) | ±15VDC±5％＠250mA(最大) ±15VDC±5％＠500mA(最大) |
| 出力 | 0～＋10VDC、≧10KΩ負荷 | |||
| I/Oコネクタ | 622：端子台コネクタ 626：15ピン”D”コネクタ | 15ピン”D”コネクタ(標準) スライドロック付き15ピン”D”コネクタ(オプション) | 9ピン”D”コネクタ | |
| 継手(標準) | 1/2インチ(12.7mm)チューブ | |||
| 継手(オプション) | NW16KF、mini-CF、Swagelok 8VCRもしくは8VCO(female) | NW16KF、NW25KF、mini-CF、2-3/4"CF(回転式)、 Swagelok 8VCRもしくは8VCO(female) |
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| その他 | 最もエコノミカルな 絶対圧型バラトロン RoHS対応 | センサを加熱制御して 性能向上 ヒータLED/スイッチに よる温度モニタ機能 (オプション) RoHS対応 | センサを100℃加熱制御 で臨界プロセスにおける 汚染物の蓄積を最小限にできる ヒータLED/スイッチによる 温度モニタ機能(オプション) RoHS対応 | 外部電圧入力による リモート・ゼロオフセット機能 (オプション) ヒータLED/スイッチによる 温度モニタ機能 (オプション) RoHS対応 |
| 温度補正/制御型 セットポイントリレー内蔵 | 高温一体型 | |||
| 型式 |  |  |  |
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| 623B(常温) | 624D(45℃) | 625D(100℃) | 631C(150℃、200℃で加熱) | |
| F.S.レンジ レンジコード(Pa) | 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | 01T(1.33×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 52T(6.65×10⁴) 13T(1.33×10⁵) | 01T(1.33×10²) 02T(2.66×10²) 11T(1.33×10³) 21T(2.66×10³) 12T(1.33×10⁴) 13T(1.33×10⁵) |
| 有効測定レンジ | 1×10⁻⁴ F.S. | |||
| 精度 | 0.25% of R オプション：0.15% | 0.12% of R | 0.25% of R | 0.5% of R |
| 温度係数(ゼロ) | 0.005% F.S./℃ | 0.002% F.S./℃ | 0.002% F.S./℃ | 0.004% F.S./℃ |
| 温度係数(スパン) | 0.04% R/℃ | 0.02% R/℃ | 0.02% R/℃ | 0.02% R/℃ |
| 運転温度レンジ | 0～50℃ | 15～40℃ | 20～70℃ | 15～50℃ |
| 接ガス部の材質 | Inconel(継手使用時はその材質も含む) | Inconel/incoloyニッケル合金 (Tri-Clover継手仕様の場合は316Lステンレスを含む) |
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| 容量(Px側) | 6.3cc | |||
| 加圧限界 | 310KPa | |||
| 入力電源 | ±15VDC±5％＠75mA | ±15VDC±5％ ＠400mA(最大) | ±15VDC±5％ ＠600mA(最大) | ±15VDC±5％＠1.0A(最大) |
| 出力 | 0～＋10VDC、≧10KΩ負荷 | |||
| I/Oコネクタ | 端子台コネクタ2か所 | 15ピン”D”コネクタ(標準) スライドロック付き15ピン”D”コネクタ(オプション) ターミナルブロックアダプタ(オプション) | 15ピン”D”コネクタ | |
| 継手(標準) | 1/2インチ(12.7mm)チューブ | |||
| 継手(オプション) | NW16KF、mini-CF、 Swagelok 8VCRもしくは8VCO(female) | Swagelok 8VCR-F、NW16KF、 1-1/2"Tri Clover、2"Tri Clover |
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| その他 | プロセスセットポイントリレー2個。それぞれ別々にF.S.の 0.1から100％の範囲で調整可能。SPDT 1A@30VDC または1/2A@50VAC抵抗負荷(リレー：AZAZ830 P2-2C-24DE))各セットポイントに比例して0～10VDCの出力、ソースインピーダンス12.5KΩ RoHS対応 | リレーオプション： プロセス圧(2)ヒータ温度⑴。 0-100% F.S.で個々に調整可能。 DPDT 1A@30VDC又は0.3A@30VAC抵抗負荷。 リレーはUL-1950基礎絶縁を125Vで適合。 RoHS対応 |
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外観寸法図
