EVACガラスブランクフランジ
- 材質はDuranR と石英の2 種類をラインナップ
- ビューイングポートとしても使用可能です
- Duran®：紫外光を遮蔽することが可能です
- 石英：紫外光を透過させるのに最適です
- 真空 10-7Pa 台に対応
- 0.2MPa までの加圧に対応
- 最高使用温度：Duran® 450℃ 石英1000℃
- 低温領域は-50℃まで対応可能
- イオン注入装置等、極めてクリーンな用途には石英が最適です
- 光学研磨を施したレーザー透過用窓もランナップ
基本情報
| NW | 16 / 25 / 40 / 50 / 63 / 80 / 100 / 125 / 160 | |
| フランジ材質 | Duran®（ホウケイ酸ガラス） | 石英 |
| 最高使用温度 | 450℃ | 1000℃ |
| 最低使用温度 | -50℃ | -50℃ |
| 使用可能圧力 | 大気圧～10⁻⁷Pa | 大気圧～10⁻⁷Pa |
| 対応シール | 専用エラストマーシール | 専用エラストマーシール |
| 加圧 | ○ | ○ |
| 非磁性 | ○ | ○ |
| 耐薬品性 | ◎ | ◎ |
| クリーンルーム対応 | ○ | ○ |
| 絶縁性 | ○ | ○ |
| RoHS2対応 | ○ | ○ |
