NECとバリアン（米国）の合弁で、日電バリアンとして1967年に創立。ANELVAは分析(ANALYSIS)のAN、エレクトロニクス(ELECTRONICS)のEL、真空(VACUUM)のVAの造語です。
今ではバリアン社製品の取扱いはありませんが、イオンポンプ、油拡散ポンプ（生産終了）各種真空導入機、ICFフランジ、バリアブルリークバルブ、サーモカップル真空計などがバリアンの真空技術を引き継いでいます。当初はバリアン分析装置も扱っており、またアネルバ独自開発装置としての分析装置、AES/SIMSなどの表面分析装置、極微量ガス分析装置（AGS7000）などがありました。その技術は四重極質量分析計M-070～M-401QA、ガス分析計シリーズに活かされています。海外の先進/先端の真空機器を日本市場に導入展開し、アルカテル社油回転真空ポンプ、インフィコン社蒸着・スパッタ用膜厚制御器などがあり、1980年～半導体などの電子部品産業の発展に貢献しています。
弊社では真空計、質量分析計、リークディテクターなど、真空コンポーネントを取り扱っております。

CANON ANELVA PRODUCTS