配管部品
高真空用配管部品としてICFフランジおよびガスケット、ビューイングポート、ICF付接続部品(配管部品)類、ISO規格対応(NW/KF)のクイックカップリングタイプのクランプ、センタ-リングおよび配管部品類をカタログ製品として用意しております。(下記の画像クリックで製品カタログが表示されます)
ICFフランジに関するちょっとしたお話も追記致しますと、
アメリカのバリアン社が開発したConFlat(コンフラット)CFフランジがルーツです。
ICFフランジはバリアン社からライセンス契約でキヤノンアネルバ(当時の日電バリアン社)が自社製品に付けた名称です。
現在日本では日本真空協会がJVIS003として外径34~305まで規格制定しています。国際規格としてはISO3669に規定されていますが、日本のJVIS003とはガスケット挿入部分に若干の寸法差がありますが使用上での問題(リークなど)はありません。ただし大口径の406、456フランジには統一規格がありませんので注意が必要です。
シール用ガスケットは主に無酸素銅、用途によりアルミ、ニッケルなどがあります。⁻10Pa以下の圧力に耐え、⁻196℃から+450℃までの温度範囲でリークフリーです。