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1. イージーオペレーション
   ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能
2. 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
   10^-12Pa･m³/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
3. イージキャリー
   可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能
4. 耐久性を重視した堅牢設計
   長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定が行えます。また、24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計

型　名	M-212LD（-H）※1	M-212LD-D	M-222LD（-H）※1	M-222LD-D（-H）※1	M-232LD
バージョン	コンパクト	コンパクトドライ	ハイパワー	ハイパワー&ドライ	スニファ
定量測定範囲 （Pa･m3/s）	10-12～10-3 （－H：10－13～10-3 ）	10-12～10-3	10-12～10-3 （－H：10－13～10-3 ）	10-12～10-3 （－H：10－13～10-3 ）	10-8～10-1 （10-2～105ppm）
インレットポート 排気速度（He） （L/s）	0.5（Gross Mode） 2.0（Middle Mode） 5.0（-H:Fine Mode）	0.2（Gross Mode） 0.3（Middle1 Mode） 1.3（Middle2 Mode） 3.0（Fine Mode）	1.8（Gross Mode） 2.0（Middle Mode） 5.0（-H:Fine Mode）	2.0（Gross Mode） 2.0（Middle Mode） 5.0（-H:Fine Mode）	プローブ吸引速度 0.3Pa・m3/s
インレット ポート形状	NW25（ISO）	NW25（ISO）	NW25（ISO）	NW25（ISO）	–
メインポンプ	ターボ分子ポンプ 50L/s	ターボ分子ポンプ 50L/s	ターボ分子ポンプ 50L/s	ターボ分子ポンプ 50L/s	ターボ分子ポンプ 50L/s
あら引きポンプ	油回転ポンプ 30L/min	ダイヤフラムポンプ20L/min	油回転ポンプ142L/min※2	スクロールドライポンプ 250L/min>	油回転ポンプ30L/min ＋ダイヤラムポンプ
外部 インターフェイス	RS-232C Analog出力（2点）・標準 I/O	RS-232C Analog出力（2点）・標準 I/O	RS-232C Analog出力（2点）・標準 I/O	RS-232C Analog出力（2点）・標準 I/O	RS-232C Analog出力（2点）・標準 I/O
表　示	カラー液晶	カラー液晶	カラー液晶	カラー液晶	カラー液晶
スニファプローブ(オプション)	981-9370型	※３	981-9371型	981-9371型	標準
所要電力※4	AC 100V 8A	AC 100A-115V, 6.3A	AC 100V-150V 15A	AC 100V-150V  10A	AC 100V 8A
外形寸法 （W×H×D）（mm）	435×487×363	435×487×363	462×867×715	462×867×715	435×487×363
質　量（kg）	42	39	75	75	42

※1）：(-H)は高感度仕様の機器です。
※2）：オプションにて最大275L/Minの油回転ポンプに変更可能です。
※3）：本機種でのご使用の場合は、別途ご相談ください。
※4）：ご注文時のご指定により、115V 200V 230Vの電圧対応をいたします。