四重極型質量分析計一覧
キヤノンアネルバのマスフィルタ(四重極型質量分析計)
トランスデューサタイプ高速測定/高感度測定プロセスガスモニタ
■概要
M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。
M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。
※1）オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。
M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。
M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。
■仕様
| 機種名 | 標準モデル | 高感度モデル | ||||
| M-070QA-TDF | M-101QA-TDF (Y) M-101QA-TDF (W) | M-101QA-TDM (Y) M-101QA-TDM (W) | M-201QA-TDM (Y) M-201QA-TDM (W) |
|||
| 基本性能 | 測定質量数範囲 | 1～70m/z | 1～100m/z | 1～100m/z | 1～200m/z | |
| 分解能 | M/ΔM≧2M | |||||
| 感度（N₂） | FC | 1.5×10⁻⁶A/Pa以上 | 7.0×10⁻⁶A/Pa以上 | － | － | |
| SEM | － | 2.5A/Pa以上 | 1.8A/Pa以上 | |||
| 最小検知分圧 | 6.7×10⁻⁹Pa以下 | 5.0×10⁻¹⁰Pa以下 | 1.0×10⁻¹²Pa以下 | 1.0×10⁻¹²Pa以下 | ||
| 動作圧力 | 1.3×10⁻²Pa以下 | |||||
| ダイナミックレンジ | 6桁 | 7桁 | ||||
| 仕様 | 検出器 | FC | ○ | ○ | ○ | ○ |
| EM | － | ○ | ○ | |||
| イオン源 | カゴ型 | カゴ型（オプション:箱型※1） | ||||
| フィラメント | イットリアコートイリジウム2本 | M-101QA-TDF (Y) イットリアコート イリジウム2本 M-101QA-TDF (W) タングステン | M-101QA-TDM (Y) イットリアコート イリジウム2本 M-101QA-TDM (W) タングステン | M-201QA-TDM (Y) イットリアコート イリジウム2本 M-201QA-TDM (W) タングステン |
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| ベーク温度 | 250℃（分析管のみ） | |||||
| デガス機能 | － | エレクトロンボンバード | ||||
| 接続フランジ | φ70ICF | |||||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | |||||
| 最大消費電力 | 60W | 90W | ||||
| 質量 | 分析管 | 1.5kg | 1.4kg | 1.6kg | ||
| コントローラ | 2.1kg | 2.2kg | ||||
| 通信インターフェイス | RS-232C/485 | |||||
| 標準ソフト | QUADVISION3 (Windows7, 8.1, 10) | |||||
| 対応 | CEマーキング、RoHS (Category9) | |||||
■外形寸法図
■概要
質量数１～410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍（当社比）の高速測定を実現しました。
※フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。
質量数１～410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。
M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍（当社比）の高速測定を実現しました。
■仕様
| 機種名 | 高速型 | 高感度型 | |||
| M-401QA-MGSY | M-401QA-MUSY | M-401QA-MGHY | M-401QA-MUHY | ||
| 基本性能 | 質量数 | 1～410m/z | |||
| 分解能 | M/ΔM≧2M | ||||
| 感度(N₂) SEM | 4.0×10⁻¹A/Pa | 4.0A/Pa | 4.0×10⁻¹A/Pa | 4.0A/Pa | |
| 最小検知分圧 | ≦5.0×10⁻¹²Pa | ≦1.0×10⁻¹²Pa | |||
| 最大動作圧力 | 1.3×10⁻²Pa以下 | ||||
| ダイナミックレンジ | 7桁 | 8桁 | 7桁 | ||
| （高速時） | 5桁 | － | － | ||
| 仕様 | イオン源形状 | ガス導入型（箱型） | UHV型（カゴ型） | ガス導入型（箱型） | UHV型（カゴ型） |
| フィラメント種類 | イットリアコートイリジウム※1 | ||||
| ベーク温度 | 300℃（分析管のみ） | ||||
| デガス機能 | イオンソースヒータ | エレクトロンボンバード | イオンソースヒータ | エレクトロンボンバード | |
| 掃引速度 | 1mSec/amu～ | 10mSec/amu～ | |||
| 接続フランジ | φ114ICF | ||||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | ||||
| 最大消費電力 | 300W | ||||
| 質量 (分析管) | 5.1Kg | ||||
| 質量(コントローラ) | 6.2Kg | ||||
| 通信インターフェイス | RS-485/USB | ||||
| 標準ソフト | QUADVISION3 (Windows7, 8.1, 10) | ||||
| 対応 | RoHS (Category9) | ||||
■外形寸法図
■概要
M-080QA-HPMは、10-9Pa～1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。
独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。
成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。
■外形寸法図
M-080QA-HPMは、10-9Pa～1.3Paの広範囲で動作可能な四重極型質量分析計です。
独自の技術により、超高真空とスパッタリングプロセス中の圧力領域を同一計測器で測定可能です。
成膜中のガスを監視できるため、ガス異常・リーク等の不具合を検知し、プロセス異常による製品不良を未然に防ぐことができます。
■仕様
| 機種名 | M-080QA-HPM | ||
| 基本性能 | 測定質量数範囲 | 1～80m/z | |
| 分解能 | ＜ 1 amu @10% of peak heigt | ||
| 感度(N₂) | FC | 7.5×10-9A/Pa以上 | |
| SEM | 7.5×10-5A/Pa以上 | ||
| 最小検知濃度 | 5ppm（H2を除く）、H2：100ppm以下 | ||
| 動作圧力 | 1.3Pa以下 | ||
| 仕様 | フィラメント | イットリアコートイリジウム1本 | |
| ベーク温度 | 250℃（分析管のみ） | ||
| 接続フランジ | φ70ICF | ||
| 定格入力電圧 | AC100V～AC240V | ||
| 質量 | 分析管 | 1.1kg | |
| コントローラ | 2.2kg | ||
| 通信インターフェイス | RS-232C/485 | ||
| 標準ソフト | QUADVISION3 (Windows7, 8.1, 10) | ||
