真空ポンプ
60L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ
- 完全オイルフリー
油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます - 超高真空、極超真空
イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1Pa～10-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適です - 無人運転
運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利 - 不活性ガスの排気(ノーブルポンプ)
二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています(アルゴンで空気の約21％)
| 名称 | 60L/s イオンポンプ | 60L/s ノーブルポンプ |
| 型名 | 912-7165 | 912-7160 |
| 排気速度(N2ガスに対して) | 60 L/s | 60 L/s |
| 動作範囲 | 10-1～10-9Pa | 1～10-9Pa |
| 起動可能圧力 | 1.3Pa以下 | 6.7Pa以下 |
| 内容積 | 6.2 L | 6.2 L |
| 最大加熱温度 | 250℃ | 250℃ |
| 吸入口 | φ152CF | φ152CF |
| 電流導入端子 | 954-7281 | 954-7281 |
| 素子(交換用) | 915-7027 (1組) | 915-9257 (1組) |
| マグネット | 912-7121（2個）本体に含む | 912-7121（2個）本体に含む |
| 質量 | 25.6 kg | 25.6 kg |
POWERシリーズクライオポンプ
- ヒーターレスで安全な高速再生を実現
- POWER起動と安定性(実用性に優れた起動特性と温度安定性)
- 低振動
振動加速度の平均値は、従来に比べ約10分の1以下
| ポンプ型名 | P-080C | P-081C | P-081CL | P-082C | P-083C |
| 口径 | 8インチ | ||||
| 形状 | 縦型 | 縦型 | 横型 | 縦型 | 縦型 |
| 排気速度N2 (L/S) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 排気速度Ar (L/S) | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| 排気速度H2 (L/S) | 1000 | 2500 | 2200 | 1000 | 1000 |
| 排気速度H2O (L/S) | 4000 | 4000 | 4000 | 4000 | 4000 |
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 1.5 | 1.2 | 1.2 | 1.5 | 1.5 |
| 最大ガス瞬間許容量 （Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 |
| 起動時間（分） | 45 | 50 | 65 | 45 | 50 |
| 再生（昇温）時間（分） | 30 | 30 | 30 | 30 | 35 |
| 起動再生時間（分） | 75 + α | 80 + α | 95 + α | 75 + α | 85 + α |
| 排気容量 Ar（Pa･m3） | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 | 190,000 |
| 排気容量 H2（Pa･m3） | 1300 | 1800 | 1600 | 1300 | 1300 |
| 到達温度（Ｋ) | 15 以下 | 15 以下 | 15 以下 | 15 以下 | 15 以下 |
| 到達圧力（Pa） | 10-7台 | 10-7台 | 10-7台 | 10-7台 | 10-7台 |
| 最大加熱温度（℃） | 70 | 70 | 70 | 70 | 70 |
| 環境温度範囲（℃） | 10～35 | 10～35 | 10～35 | 10～35 | 10～35 |
| 推奨メンテナンス時間（h) | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 |
| 質量(kg) | 22 | 22 | 22 | 23 | 24 |
POWER Ecoシリーズ省エネ型クライオポンプ
- 省エネ・省資源に有効
消費電力、冷却水量：15 ～ 70 % 低減可能 - 再生・起動時間の短縮
従来に比べて半分以下 - 排気性能の向上
実質的なアルゴン排気容量を1.5 ～ 4 倍と大幅に向上
| ポンプ型名 | P-085C | P-086C | P-086CL | P-087C |
| 口径 | 8インチ | 8インチ | 8インチ | 8インチ |
| 形状 | 縦型 | 縦型 | 横型 | 縦型 |
| 排気速度N2 (L/S) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 排気速度Ar (L/S) | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| 排気速度H2 (L/S) | 1000 | 2500 | 2200 | 1000 |
| 排気速度H2O (L/S) | 4000 | 4000 | 4000 | 4000 |
| 最大排気流量（Pa･m3/s） | 1.2 | 1.2 | 1.1 | 1.5 |
| 最大ガス瞬間許容量 （Pa･m3） | 18.0 | 18.0 | 18.0 | 18.0 |
| 起動時間（分） | 60 | 65 | 80 | 60 |
| 再生（昇温）時間（分） | 40 | 40 | 45 | 40 |
| 起動再生時間（分） | 100 + α | 105 + α | 125 + α | 100 + α |
| 排気容量 Ar（Pa･m3） | 80,000 | 80,000 | 80,000 | 150,000 |
| 排気容量 H2（Pa･m3） | 1300 | 1800 | 1600 | 1300 |
| 到達温度（Ｋ) | 15 以下 | 15 以下 | 15 以下 | 15 以下 |
| 到達圧力（Pa） | 10-7台 | 10-7台 | 10-7台 | 10-7台 |
| 最大加熱温度（℃） | 70 | 70 | 70 | 70 |
| 環境温度範囲（℃） | 10～35 | 10～35 | 10～35 | 10～35 |
| 推奨メンテナンス時間（h) | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 | 16,000以内毎 |
| 質量(kg) | 22 | 22 | 22 | 23 |
