堀場エステック社製品

ガスや液体の流量制御、液体気化、製造装置内の真空計測等、半導体製造に使われる機器は非常に高い品質と技術力が求められますが堀場エステック社は流体制御技術をこれらの分野へ応用展開し現在は流量制御装置分野で世界シェア30%以上となっております。
マスフローコントローラーを中心に、液体材料の気化供給装置や真空計測機器等の開発、製品化を行っています。

HORIBA STEC PRODUCTS

マスフローモジュール

CRITERION DZ-100 Series
CRITERION D500 Series
SEC-Z700X Series

マスフローコントローラー

SEC-Z500X Series
SEC-N100 Series
SEC-8000F/D/E Series
red-y industrial Series

エコノミーマスフローコントローラー

SEC-E Series
S48 Series
MF-C Series
red-y compact Series

真空計測・ガスモニタ装置

ガスプロセスモニタ
キャパシタンスマノメータ

圧力制御機器

排気圧コントローラ

高精度精密膜流量計

SF-U Series