キャパシタンスマノメータ 隔膜式真空計VGシリーズ
自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。様々な真空アプリケーションにご使用いただけます。
- 自己温調型では最小クラス
- 独自の電極構造により高精度・高安定を実現
- 耐食性に優れたNi 合金をダイヤフラムに採用
- セットポイント出力(2点)
- アラーム出力
- 専用ソフトによるセットポイント設定
- ワンプッシュRe Zero
- 供給電源 ±15VDC、24VDC 対応
- CE、RoHS 対応
アプリケーション
- 真空乾燥炉
リチウムイオンバッテリ電極、FPD
基盤溶剤塗布後の乾燥工程をモニタリングします。 - 真空熱処理炉
プロセスの最適化、歩留り向上に貢献します。 - 凍結乾燥装置
薬品、食品分野の凍結乾燥工程における品質管理、プロセス管理に最適です。
型式 | VG-221 | |
F.S測定レンジ | 133.32Pa | 1.3332kPa/ 13.332kPa/ 133.32kPa |
センサ部温調温度 | 55℃/ 100℃ | |
精度 | 0.5%R.S. | 0.25%R.S. |
分解能 | 0.03%F.S. | 0.01%F.S. |
ゼロ温度係数 | 0.005%F.S./℃ | 0.0025%F.S./℃ |
スパン温度係数 | 0.03%R.S./℃ | 0.02%R.S./℃ |
応答時間 | <60msec | |
使用温度範囲 | 10~45℃(55℃温調タイプ) 10~50℃(100℃温調タイプ) | |
接ガス部材質 | SUS316 L、Ni合金 | |
加圧限界 | 350kPa(A) | |
出力信号 | 0~10VDC 負荷抵抗10kΩ以上 | |
電源電圧 | +15VDC±5% 0.6Am max -15VDC±5% 0.6Am max | |
24VDC±5% 22W max | ||
暖気時間 | 60分(55℃温調タイプ) 120分(55℃温調タイプ) | |
セットポイントリレー | 個数:2個 接点タイプ:1a1b 最大負荷:0.1A | |
オープンコレクタ出力 | 定格電圧:30V 定格電流:50mA | |
Re Zero入力 | 無電圧接点入力 接点開放電圧:13V 最大接点電流:1.3mA | |
標準継手 | KF16, 1/2VCR Female, ICF34 |