キャパシタンスマノメータ 隔膜式真空計VGシリーズ

自己温調型では最小クラスの隔膜式真空計。独自の電極構造により高精度・高安定を実現しています。様々な真空アプリケーションにご使用いただけます。

  1. 自己温調型では最小クラス
  2. 独自の電極構造により高精度・高安定を実現
  3. 耐食性に優れたNi 合金をダイヤフラムに採用
  4. セットポイント出力(2点)
  5. アラーム出力
  6. 専用ソフトによるセットポイント設定
  7. ワンプッシュRe Zero
  8. 供給電源 ±15VDC、24VDC 対応
  9. CE、RoHS 対応

アプリケーション

  • 真空乾燥炉
    リチウムイオンバッテリ電極、FPD
    基盤溶剤塗布後の乾燥工程をモニタリングします。
  • 真空熱処理炉
    プロセスの最適化、歩留り向上に貢献します。
  • 凍結乾燥装置
    薬品、食品分野の凍結乾燥工程における品質管理、プロセス管理に最適です。
型式VG-221
F.S測定レンジ133.32Pa1.3332kPa/ 13.332kPa/ 133.32kPa
センサ部温調温度55℃/ 100℃
精度0.5%R.S.0.25%R.S.
分解能0.03%F.S.0.01%F.S.
ゼロ温度係数0.005%F.S./℃0.0025%F.S./℃
スパン温度係数0.03%R.S./℃0.02%R.S./℃
応答時間<60msec
使用温度範囲10~45℃(55℃温調タイプ) 10~50℃(100℃温調タイプ)
接ガス部材質SUS316 L、Ni合金
加圧限界350kPa(A)
出力信号0~10VDC 負荷抵抗10kΩ以上
電源電圧+15VDC±5% 0.6Am max -15VDC±5% 0.6Am max
24VDC±5% 22W max
暖気時間60分(55℃温調タイプ) 120分(55℃温調タイプ)
セットポイントリレー個数:2個 接点タイプ:1a1b 最大負荷:0.1A
オープンコレクタ出力定格電圧:30V 定格電流:50mA
Re Zero入力無電圧接点入力 接点開放電圧:13V 最大接点電流:1.3mA
標準継手KF16, 1/2VCR Female, ICF34