マスフローコントローラ

SEC－Z500X series

概要

ユーザーサイドでガス種・流量レンジの変更ができるマルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。
±1.0%S.P. の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジを実現しています。通信方法はデジタル/アナログ、DeviceNet™, EtherCAT®通信から選択可能。先端プロセスのみならず、様々な製造プロセスに最適なマスフローコントローラです

特長

  • マルチレンジ/マルチガス対応
    ユーザーサイドでのガス種・フルスケール流量変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
  • ワイドレンジ
    微少流量(5SCCM F.S)から大流量(500SLM F.S.)まで制御可能
  • 高精度
    ±1.0% S.P.(セットポイント)保証
  • 高速応答
    フルレンジ1秒以内(T98) 
  • コンパクトサイズ
    面間距離 106mm(50SLM以下、1/4VCR Type)、1.125inchガスパネルに対応。
  • ウルトラクリーン対応
    接ガス部オールステンレス構造の採用、内面研磨処理標準。

SEC-N100 series

概要

10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲、デジタル/アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています

特長

  • 選べる通信方式
    デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, EtherCAT®をラインナップ
通信方式駆動電源製品型式
デジタル通信
・RS-485 F-Net protcol
アナログ通信
・0~5VDC		±15VDC(±5%)※SEC-N102 Series
DeviceNetTM通信ODVA規格SEC-N104 Series
CC-Link®通信
アナログ通信
・0~5VDC 0~10VDC
・4~20mA		24VDC（13~32VDC）SEC-N105 Series
プロフィバス通信
アナログ通信
・0~5VDC 0~10VDC
・4~20mA		プロフィバス規格
24VDC(13~32VDC)		SEC-N106 Series
EtherCAT®通信EtherCAT　規格
24VDC +/-4V		SEC-N107 Series

10 SCCMから1000 SLMまでのワイドな流量制御範囲 
流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

  1. 高精度：±1.0% S.P.流量精度の向上
    セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
  2. 全流量域にわたる高速応答:フルレンジ1秒以内
  3. マルチガス/マルチレンジ機能を搭載
    ユーザーサイドでガス種・フルスケール流量を変更可能。

SEC-400 series

概要

サーマルバルブを搭載した安定性のよいアナログマスフローコントローラ。様々な市場で多く使用されているモデルとなっています。

特長

  •  ±0.5％F.S.に対応：SEC-405(ガス種限定)
  • 0.1CCMから200SLM(N2)までの流量制御に対応
  • 面間距離106㎜のコンパクトタイプ(SEC-300タイプ