特徴

• 高速応答
  応答速度：0.4秒以内
• 軽量化・コンパクト
  幅10mm、高さ99mm
• 高精度
  ±0.5% S.P.を実現
• 集積化対応（C-Seal/W-Seal）
• 通信方式
  DeviceNet™通信モデル
• 一次側供給圧力範囲の拡大
  110～900kPa
• PI機能 （Pressure Insensitive）
  急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新の
  アルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが
  可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
• マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
  ユーザーサイドで「ガス種」「フルスケール流量」「供給圧力レンジ」
  の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
• 自己診断機能　G-Life
  (Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)

特長

• PI機能 （Pressure Insensitive）
  急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。
• マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能
  ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。
• 自己診断機能　G-Life　(Gas Law check of Integrated Flow restrictor Equation)
  短時間：3秒以下（typical）で自己診断が行え、スループットの向上に貢献します。
• 高精度
  ±1% S.P.を実現
• 高速応答
  応答速度：0.8秒以内
• ワイドレンジ制御
  10 SCCM~50 SLMとワイドな制御範囲
• 豊富な通信方式
  デジタル/アナログ通信モデル、DeviceNet™通信モデル、EtherCAT®通信モデルをラインナップ

特長

• PI機能搭載
  急激な圧力変動においても、安定した流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。

• マルチレンジ/マルチガス機能
  ユーザーサイドでのガス種変更・フルスケール流量変更が可能
• フルレンジ高速応答1秒以内
• レギュレータ、圧力計、フィルタが不要でガスラインのコンパクト化に貢献
• 1次圧、2次圧変動の影響なし
• Inlet Pressure Sensor 搭載
• マルチディスプレイ機能搭載
• 高精度
  1%S.P.での流量精度保証
• ウルトラクリーン
  メタルダイヤフラム、オールステンレス、内面研磨標準
• ネットワーク機能を内蔵し、Digital信号による制御を行います。

特長

• 流量精度
  ±1％S.P.保証(設定流量5〜100％F.S.(N2))
• ワイドレンジ制御
  低流量域0.5％F.S.まで制御可能
• バルブシャットオフ性能
  フッ素樹脂(PFA)を採用(Bin#01〜#04)
  全閉時流量0.1％F.S.以下
• Tunable response機能
  調整可能範囲0.3秒以上 1秒以下
• 動作可能温度
  使用可能温度15〜60℃
• 性能ばらつきの低減
  繰り返し性±0.15％S.P.以内(設定流量5〜100％F.S.)
  流量応答時間450±30ミリ秒
• ゼロ点安定性
  ±0.3％F.S./年以内
• MRMG番号(Bin#)
  10SCCM〜50SLM F.S.まで9仕様で対応