HiPaceイノベーション

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HiPaceとは？
HiPaceはコンパクトでありながら10～700(l/s)の排気速度を有するパワフルなターボポンプです。コストパフォーマンスに優れているだけでなく、取付け方向自在などの柔軟性も備えています。従来のモデルで使用された軸受機構は、高い信頼性を実証します。また、ローターデザインの改善により、排気速度、補助ポンプの選択幅、ガススループットの向上だけでなく、軽いガスに対しても極めて高い圧縮比が得られます。

HiPaceの長所は？
ポンプ起動時間が大幅に短縮されており速やかに本稼働に入れます。またポンプの内部温度などのデータの分析を可能にするリモート機能やセンサ機能も提供しており、診断機能の向上によりダウンタイムは最小限に抑えられメンテナンスも容易になります。
また機能的なアルミ製ハウジングを採用しポンプの軽量化と画期的なローターの形状によって静穏運転を可能にし、負荷の大幅な改善は新たな標準を確立しています。

信頼性(軸受けシステム)

ポンプラインナップ、及びアプリケーション

		HiPace10	HiPace80	HiPace300	HiPace400	HiPace700
分析	電子顕微鏡	●	●	●	●	●
	リークディテクター	●	●	●
	質量分析計	●	●	●	●	●
	表面分析	●	●	●	●	●
	プラズマモニター	●	●	●
	残留ガス分析	●	●	●	●	●
電子機器/半導体	不良解析/修理		●	●	●	●
	イオン注入			●	●	●
	PVD/スパッタ			●	●	●
真空技術	フィルムコーティング				●	●
	表面加工			●	●	●
研究開発	UHV/XHVシステム		●	●	●	●
	ガス流量制御システム	●	●	●
	核研究			●	●	●
	プラズマ物理学			●	●	●
	X線管		●	●	●	●
	宇宙科学	●	●	●
	蓄積(光源)リング		●	●	●	●
	粒子加速器		●	●	●	●
産業	リークディテクションシステム	●	●	●	●	●
	真空合金			●	●	●
	電子ビーム溶接			●	●	●
その他	差動排気システム	●	●	●	●	●
	真空断熱	●	●	●
	ランプ/チューブ	●	●	●	●	●
	ロードロック		●	●	●	●
	ハンドリングシステム			●	●	●

テクニカルデータ

	HiPace 10 DN25 ISO-KF 寸法と排気速度について	HiPace 80 DN40 ISO-KF 寸法と排気速度について	HiPace 80 DN63 ISO-K/ CF-F 寸法と排気速度について	HiPace 300 DN100 ISO-F 寸法と排気速度について	HiPace 300 DN100 CF-F 寸法と排気速度について	HiPace 400 DN100 ISO-K/ISO-F/ CF-F 寸法と排気速度について	HiPace 700 DN160 ISO-F/ISO-F/ CF-F 寸法と排気速度について
電子駆動ユニット	TC110	TC110	TC110	TC110 / TC400	TC110 / TC400	TC400	TC400
接続上の規格
吸気口	DN25	DN40 ISO-KF	DN63	DN100	DN100	DN100	DN100
排気口	DN16 ISO-KF	DN16 ISO-KF	DN16 ISO-KF	DN16 ISO-KF	DN16 ISO-KF	DN25 ISO-KF	DN25 ISO-KF
ベント接続	-	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"	G1/8"
排気速度(l/s)
水素　H2	3.7	38	48	220	220	445	555
ヘリウム　He	6	41	58	255	255	470	655
窒素　N2	10	35	67	260	260	355	685
アルゴン　Ar	11.5	30	66	255	255	320	665
CF4	-	-	-	200	200	-	-
圧縮比
水素　H2	3.0×10²	1.4×10⁵	1.4×10⁵	9.0×10⁵	9.0×10⁵	4.0×10⁵	4.0×10⁵
ヘリウム　He	3.0×10³	1.3×10⁷	1.3×10⁷	>1×10⁸	>1×10⁸	>3×10⁷	>3×10⁷
窒素　N2	3.0×10⁶	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹
アルゴン　Ar	3.0×10⁷	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹	>1×10¹¹
CF4	-	-	-	>1×10¹¹	>1×10¹¹	-	-
許容排気口圧力(Pa)	2.5×10³	2.2×10³	2.2×10³	1.5×10³ / 2.0×10³	1.5×10³ / 2.0×10³	1.1×10³	1.1×10³
標準回転数による最大ガス流量(Pa m³/s)
水素　H2	0.015	1.53	1.53	0.14 / 0.14	0.14 / 0.14	0.14	0.14
ヘリウム　He	0.015	0.27	0.27	0.8 / 2.0	0.8 / 2.0	1.0	1.0
窒素　N2	0.015	0.13	0.13	0.5 / 1.4	0.5 / 1.4	0.65	0.65
アルゴン　Ar	0.015	0.054	0.054	0.2 / 0.7	0.2 / 0.7	0.35	0.35
CF4	-	-	-	0.2 / 0.8	0.2 / 0.8	-	-
到達真空度(Pa) 48時間ベーキング後	<5×10⁻³	<1×10⁻⁵	<1×10⁻⁵ / <5×10⁻⁸	<1×10⁻⁵	<1×10⁻⁸	<1×10⁻⁵ / <5×10⁻⁸	<1×10⁻⁵ / <5×10⁻⁸
定常回転数(1min)	90,000	90,000	90,000	60,000	60,000	49,200	49,200
立ち上がり時間(min)	0.9	1.7	1.7	3.5 / 1.8	3.5 / 1.8	2.0	2.0
標準冷却方式	自然対流	空冷、又は水冷	空冷、又は水冷	空冷、又は水冷	空冷、又は水冷	水冷、または空冷	水冷、または空冷
冷却水消費量(l/h)	-	75	75	50	50	100	100
最大冷却水温度(℃)	-	5 - 25	5 - 25	15 - 35	15 - 35	15 - 35	15 - 35
インターフェース	RS-485,リモート	RS-485,リモート	RS-485,リモート	RS-485,リモート	RS-485,リモート	RS-485,リモート	RS-485,リモート
質量(Kg)	1.8	2.4	2.4 / 3.8	6.5 / 7.0	8.2 / 8.7	11.6 / 12.0 / 17.5	11.5 / 12.1 / 17.4