ロータリーポンプ
DUO / ダブルステージ(2段式)
モーターとポンプ部はマグネットカップリングを採用オイル漏れが発生しません。ガスバラストバルブ、逆流防止機構を装備。
リークタイト(10-6 pa m3/s)
| 機種 | 排気速度 l/min(m³/h) :50Hz | 排気速度 l/min(m³/h) :60Hz | 吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 (Pa) | 耐腐食性 機種 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DUO 1.6 | 21(1.25) | 25(1.5) | 16ISO-KF (NW16) | 16ISO-KF (NW16) | 3.0×10-1 | 無し |
| DUO 1.6M | ||||||
| DUO 3 | 42(2.5) | 49(2.9) | 無し | |||
| DUO 3M | ||||||
| DUO 6 | 84(5) | 100(6) | 無し | |||
| DUO 6M | ||||||
| DUO 11 | 150(9) | 170(10.5) | 無し | |||
| DUO 11M | ||||||
| DUO 20M | 334(20) | 400(24) | 25ISO-KF (NW25) | 25ISO-KF (NW25) | 2.0×10-1 | 有り |
| DUO 35 | 534(32) | 600(36) | 40ISO-KF (NW40) | 40ISO-KF (NW40) | 2.0×10-1 | 有り |
| DUO 35M | ||||||
| DUO 65 | 1034(62) | 1167(70) | 有り | |||
| DUO 65M | ||||||
| DUO 125 | 1917(115) | 2250(135) | 63ISO-F | 63ISO-F | 無し | |
| DUO 125M | ||||||
| DUO 255 | 4167(250) | 5000(300) | 100ISO-F | 100ISO-F | 3.0×10-1 | 無し |
| DUO 255M |
※機種名の「M」はマグネットカップリング仕様の略です。
Pascal / ダブルステージ(2段式)
PASCALシリーズは、フランスのアディクセン(adixen)社の(旧社名:アルカテル)
国内では多く使用されている実績のある真空ポンプです。
現在はドイツのファイファーバキューム（PFEIFFER VACUUM）が親会社となり、全世界で販売されています。
SDシリーズ：標準ポンプ
大気/希ガス用、粗引きポンプ用途
I シリーズ：研究開発や分析機器用途
静粛性の高い低振動が特徴。質量分析計、電子顕微鏡 などの粗引き用途に。
C1シリーズ
C1:腐食性用途
研究開発、実験、凍結乾燥、溶剤排気などの用途
C2シリーズ
C2:腐食性用途
イオン注入、スパッタリング装置などのケミカルプロセス用途
| 機種 | 排気速度 l/min(m³/h) :50Hz | 排気速度 l/min(m³/h) :60Hz | 吸気口径 | 排気口径 | 到達真空度 (Pa) | 耐腐食性 機種 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2005 | 90(5.4) | 108(6.5) | 25ISO-KF | 25ISO-KF | 1.0×10⁻¹ | 無し |
| 2005C1 | 1.5×10⁻¹ | 耐腐食 | ||||
| 2010 | 162(9.7) | 193(11.6) | 1.0×10⁻¹ | 無し | ||
| 2010C1 | 1.5×10⁻¹ | 耐腐食 | ||||
| 2010C2 | 耐腐食 | |||||
| 2015 | 250(15) | 300(18) | 1.0×10⁻¹ | 無し | ||
| 2015C1 | 1.5×10⁻¹ | 耐腐食 | ||||
| 2015C2 | 耐腐食 | |||||
| 2021 | 345(20.7) | 413(24.8) | 1.0×10⁻¹ | 無し | ||
| 2021C1 | 1.5×10⁻¹ | 耐腐食 | ||||
| 2021C2 | 耐腐食 |
